Aparatura Katedry Optoelektroniki
Stanowisko do wzbudzania plazmonów powierzchniowych oraz pomiaru ich charakterystyk spektralno-kątowych
Układ pomiarowy składa się ze sterowanego za pomocą komputera goniometru, układu formowania wiązki oraz układu detekcyjnego. Goniometr przystosowany został do pomiarów w zakresie kątów padania 20º - 90º. Wzbudzanie plazmonów powierzchniowych odbywa za pomocą hemisfery wykonanej ze szkła o dużym współczynniku załamania (szkło SF-14). Do jej podstawy mocowany jest, wykonany na płasko-równoległej płytce szklanej, układ warstwowy z aktywną warstwą plazmonową. Jako źródło światła mogą być wykorzystywane modulowane amplitudowo źródła laserowe lub żarowe źródła światła. Układ detekcyjny może zawierać fotodiodę w układzie detektora lock-in lub spektrometr światłowodowy pracujący w zakresie długości fal od 200 nm do 1100 nm. Układ pomiarowy przystosowany został do pracy w cyklu automatycznym.
Elipsometr Spektralny typu SE-850
Elipsometr spektralny znajdujący się w posiadaniu Katedry Optoelektroniki przystosowany jest do pracy w zakresie spektralnym 280 nm - 2500 nm. Pomiary mogą się odbywać przy kątach padania z przedziału 40º - 90º. Elipsometr przystosowany jest do wyznaczania wielu parametrów cienkich warstw i ich układów, m.in.:
- grubości - współczynnika załamania i jego dyspersji,
- współczynnika ekstynkcji i jego dyspersji,
- współczynnika odbicia i jego dyspersji,
- współczynnika transmisji i jego dyspersji,
- anizotropii,
- nierówności powierzchni i powierzchni międzyfazowych,
- profilu dyfuzji.
Wiązka sondująca ma regulowaną średnicę w zakresie od 2 mm do 4 mm. Spektrometr wyposażony jest w microspot zmniejszający średnicę wiązki sondującej do około 0.2 mm.
Stanowisko pomiarowe do badania i testowania czujników gazu
Stanowisko składa się z następujących elementów:
- komory pomiarowej,
- komputerowo sterowanego,
- wielokanałowego układu dozowania gazów,
- podzespołów dodatkowych: komputer, częstościomierze, sterownik kontrolno-pomiarowy, oscyloskop cyfrowy i inne.
Układ dozowania gazów pełni następujące funkcje:
- zadawania i kontroli przepływu mieszanki gazowej oraz odczytu przepływów,
- sterowania zaworami elektromagnetycznymi przepływomierzów masowych,
- stabilizacją temperatury płytki sensora.
Mikroprocesorowy system sterowania obsługuje 8 wejściowych i wyjściowych sygnałów analogowych (MFC – przepływomierze masowe, pomiar temperatury, sterowanie ośmioma zaworami i wyświetlaczem ciekłokrystalicznym). Sterownik wyposażono w 12 ośmiobitowych portów wejścia/wyjścia, przeznaczonych do podłączenie dodatkowych, cyfrowych przyrządów pomiarowych. System dozowania zapewnia minimalną dyskretyzację czasową 0,1 s oraz umożliwia profilowanie przepływu gazów.
Bonder 5332 Ball – Deep Access
Montaż drutowy jest to najpopularniejsza metoda tworzenia kontaktu elektrycznego pomiędzy strukturami scalonymi i obwodami zewnętrznymi. Technika ta zwana jest wire bondingiem. Jest to proces zgrzewania dwóch materiałów poprzez poddanie ich działaniu siły deformującej drut i wymuszającej wymianę atomów pomiędzy metalem a warstwami kontaktów. W celu wytworzenia spoiny pomiędzy podłożem a drutem stosuje się kombinacje temperatury, nacisku i energii ultradźwiękowej dopasowaną do łączonych materiałów. Bonder 5332 BDA F&K Delvotec jest uniwersalnym urządzeniem pozwalającym na realizacje połączeń drutem złotym i aluminiowym o średnicach 25 μm w technice ball, wedge bonding.
Elipsometr monochromatyczny SE400
Elipsometr wykorzystywany jest głównie do pomiarów grubości i współczynników załamania cienkich warstw. Zjawiskiem fizycznym wykorzystywanym w pomiarach elipsometrycznych jest zmiana stanu polaryzacji światła podczas odbicia od badanej struktury. Z analizy polaryzacji światła odbitego można wyznaczyć parametry optyczne i geometryczne struktury. Pomiary elipsometryczne mogą być realizowane w szerokim zakresie widmowym (elipsometry spektralne) bądź dla pojedynczej długości fali (elipsometry monochromatyczne). Na fotografii pokazany jest elipsometr monochromatyczny SE400 firmy SENTECH (Niemcy, Berlin).
Parametry urządzenia:
- długość fali 632,8 nm,
- kąty oświetlenia próbki: 40°, 45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°,
- zakres pomiaru grubości 1-2000 nm,
- dokładności pomiaru: kątów elipsometrycznych Δ±0.06°, Ψ±0,03°, pomiaru grubości 0,1 nm, pomiaru współczynnika załamania 0,0005.
